国际顶尖EBL日本电子JEOL JBX-9500FS，100kV圆形束电子束光刻系统，可直写10nm量级的图形。1．加速电压:100KV; 2．最小线宽 10nm; 3．电子束扫描速度：100MHz; 4．套刻精度：±8nm; 5．包含曝光预对准组件； 6．样品台尺寸：8-6-4-2英寸、又兼容小片10、20、30mm见方样品。