从微米到纳米级微针微柱制作工艺,既可以直接作为组织液等被测物的采集提取,也可以作为原始模具进行二次翻模从而应用于其它领域。
采用光刻、刻蚀等工艺,定制加工200um-600um高微针针体,用于医美、体液、组织液的侵入式提取;也可定制纳米级微柱阵列,用于生物样本、类器官组织、细胞等生物医学上组织电信号的采集,或者电场刺激下细胞行为学的观测研究。
从微米到纳米级微针微柱制作工艺,既可以直接作为组织液等被测物的采集提取,也可以作为原始模具进行二次翻模从而应用于其它领域。
基于传统的MEMS工艺,结合干法刻蚀和湿法刻蚀实现特殊针体的结构制作。