采用分秒激光瞬时能量高、热效应小等特点，可以制作8um以上线宽或孔径的材料加工。常用于在金属、硅片、玻璃、聚合物上制作特殊掩膜图形、疏水表面、切割、打孔等工艺。切割表面具有优异的表面粗糙度、光滑的切割截面和更好的垂直度。
产品特点
适用工艺
飞秒激光一般在MEMS微加工无法处理的材料上具有更好的优势，尤其体现在金属和聚合物材料的加工工艺上。
产品应用
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